Aplikace konfokálních mikroskopů v polovodičovém průmyslu
V procesu-výroby polovodičů ve velkém měřítku je nutné ukládat čipy integrovaných obvodů na wafer, rozdělit je do různých celků a nakonec je zabalit a zapájet. Přesná kontrola a měření velikosti drážky pro řezání plátků je proto zásadním článkem výrobního procesu.
Konfokální mikroskop řady VT6000 je mikroskopické kontrolní zařízení uvedené na trh společností Zhongtu Instrument, široce používané při výrobě a balení polovodičů. Dokáže provádět bez-kontaktní skenování a rekonstruovat-trojrozměrnou morfologii povrchových prvků se složitými tvary a strmými laserovými řezacími drážkami.
Konfokální mikroskop řady VT6000 má vynikající optické rozlišení a dokáže podrobně pozorovat charakteristiky povrchu destičky prostřednictvím jasného zobrazovacího systému, jako je například pozorování, zda se na povrchu destičky nevyskytují vady, jako je zlomení okraje a škrábance. Elektrická věž může automaticky přepínat mezi různými zvětšeními objektivu a software automaticky zachycuje hrany prvků pro rychlé dvou{2}}rozměrné měření velikosti, čímž efektivněji detekuje a kontroluje kvalitu povrchu plátku.
V procesu laserového řezání plátků je vyžadováno přesné polohování, aby bylo zajištěno, že drážky mohou být řezány podél správného obrysu na plátku. Kvalita segmentace plátků se obvykle měří hloubkou a šířkou řezných drážek. Konfokální mikroskop řady VT6000, založený na konfokální technologii a vybavený vysokorychlostními skenovacími moduly-, má profesionální analytický software s více oblastmi a funkcemi automatického měření. Dokáže rychle rekonstruovat trojrozměrný-kontur laserové drážky testovaného plátku a provádět víceprofilovou analýzu, aby získal informace o hloubce a šířce kanálu v průřezu-.
