Aplikace infračerveného mikroskopu v mikrozařízeních v elektronickém průmyslu
Směr aplikace: funkce infračerveného mikroskopu při měření teploty mikro polovodičových součástek.
Za druhé, pozadí:
S rozvojem nanotechnologie se v oblasti polovodičové technologie stále více uplatňuje její miniaturizace shora dolů. Technologie IC jsme zvykli nazývat "mikroelektronika" technologie, protože velikost tranzistorů je v úrovni mikronů (10-6 metrů). Polovodičová technologie se však vyvíjí velmi rychle a každé dva roky postoupí o jednu generaci a její velikost se zmenší na polovinu původní velikosti. To je slavný Moorův zákon. Asi před 15 lety začaly polovodiče vstupovat do éry submikronů, tedy méně než mikronů, a pak nastala éra hlubokých submikronů a mnohem menších než mikronů. V roce 2001 byla velikost tranzistoru dokonce menší než 0,1 mikronu, tedy méně než 100 nanometrů. Proto je to éra nanoelektroniky a většina budoucích integrovaných obvodů bude vyrobena z nanotechnologií.
Za třetí, technické požadavky:
V současnosti je hlavní formou poruchy elektronických zařízení tepelné selhání. Podle statistik je 55 procent poruch elektronických zařízení způsobeno teplotou překračující stanovenou hodnotu. S rostoucí teplotou exponenciálně roste poruchovost elektronických zařízení. Obecně lze říci, že provozní spolehlivost elektronických součástek je extrémně citlivá na teplotu a spolehlivost se sníží o 5 procent s každým zvýšením teploty zařízení o 1 stupeň na úrovni 70-80 stupňů. Proto je nutné rychle a spolehlivě detekovat teplotu zařízení. Se stále menšími rozměry polovodičových součástek jsou kladeny vyšší požadavky na teplotní rozlišení a prostorové rozlišení detekčního zařízení.
Za čtvrté, nafoťte tepelnou mapu na místě (umístění: model známého vědeckého výzkumného ústavu: INNOMETE SI330)
