Aplikace infračerveného mikroskopu v mikrozařízeních v elektronickém průmyslu
1. Směr aplikace: role infračerveného mikroskopu při teplotním testování drobných polovodičových součástek
2. Úvod do pozadí:
S rozvojem nanotechnologie se její metoda miniaturizace shora dolů stále více uplatňuje v oblasti polovodičové technologie. Technologie IC jsme zvykli nazývat „mikroelektronikou“, protože velikost tranzistorů je na úrovni mikronů (10-6 metr). Polovodičová technologie se však vyvíjí velmi rychle. Každé dva roky se vylepší jedna generace a velikost se zmenší na polovinu původní velikosti. To je slavný Moorův zákon. Zhruba před 15 lety začaly polovodiče vstupovat do submikronové éry, která je menší než mikronová éra, a poté šly hlouběji do submikronové éry, která byla mnohem menší než mikronová éra. V roce 2001 byly tranzistory dokonce menší než 0,1 mikronu neboli 100 nanometrů. Proto je to éra nanoelektroniky a většina budoucích integrovaných obvodů bude vyrobena z nanotechnologií.
3. Technické požadavky:
V současné době je hlavním způsobem selhání elektronických zařízení tepelné selhání. Podle statistik je 55 procent poruch elektronických zařízení způsobeno teplotou překračující stanovenou hodnotu. S rostoucí teplotou se exponenciálně zvyšuje poruchovost elektronických zařízení. Obecně lze říci, že provozní spolehlivost elektronických součástek je extrémně citlivá na teplotu a spolehlivost klesne o 5 procent pokaždé, když se teplota zařízení zvýší o 1 stupeň na úrovni 70-80 stupňů. Proto je nutné rychle a spolehlivě detekovat teplotu zařízení. Se stále menší velikostí polovodičových součástek jsou kladeny vyšší požadavky na teplotní rozlišení a prostorové rozlišení detekčního zařízení.
4. Teplotní mapa natáčení na místě
