Interakce elektronů s hmotou je základem pro výrobu rastrovacího elektronového mikroskopu. Sekundární elektrony, Augerovy elektrony, charakteristické rentgenové záření a kontinuum rentgenové záření, zpětně odražené elektrony, přenesené elektrony a elektromagnetické záření ve viditelné, ultrafialové a infračervené oblasti, to vše vzniká, když paprsek vysokoenergetických dopadajících elektronů bombarduje povrch hmota. Vibrace mřížky (fonony), oscilace elektronů (plazma) a páry elektron-díra mohou být vytvářeny současně. Teoreticky lze několik fyzikálních a chemických charakteristik samotného vzorku, včetně jeho tvaru, složení, krystalové struktury, elektronické struktury a vnitřních elektrických nebo magnetických polí, určit využitím interakce mezi elektrony a hmotou.
Aby se vytvořil elektronový paprsek se specifickou energií, intenzitou a průměrem bodu na povrchu vzorku, elektronové dělo vyšle elektronový paprsek s energií až 30 keV, který je následně redukován a zaostřen spojnou čočkou a čočkou objektivu. . Dopadající elektronový paprsek bude bod po bodu skenovat povrch vzorku pod vlivem magnetického pole snímací cívky v určitém čase a prostoru. Sekundární elektrony jsou excitovány z elektroniky vzorku v důsledku kontaktu dopadajícího elektronu s povrchem vzorku. Funkce kolektoru sekundárních elektronů umožňuje zachytit sekundární elektrony, které jsou emitovány ve všech směrech.
a poté poháněna urychlovací elektrodou ke scintilátoru pro konverzi na optický signál, před tím, než projde světlovodem do fotonásobiče, kde podstoupí další konverzi optického signálu. k přenosu elektrických signálů. Video zesilovač zesiluje tento elektrický signál, který je pak přiváděn do mřížky obrazovky, aby reguloval jeho jas a zobrazoval sekundární elektronový obraz odrážející fluktuaci povrchu vzorku na fluorescenční obrazovce.
Proces zobrazování používaný při zobrazování TEM, který využívá zobrazování magnetickou čočkou a je dokončen najednou, je zcela odlišný.
Elektronový optický systém, skenovací systém, systém detekce signálu, zobrazovací systém, napájecí zdroj a vakuový systém tvoří většinu rastrovacího elektronového mikroskopu. Na obrázku je schematicky znázorněna jeho konstrukce. Při adhezivním testování se nejčastěji využívá rastrovací elektronová mikroskopie.
