Kolik nanometrů vidí konfokální mikroskop?
Cílem materiálové vědy je studovat vliv povrchové struktury materiálu na jeho povrchové vlastnosti. Proto je analýza topografie povrchu ve vysokém rozlišení důležitá pro stanovení parametrů souvisejících s drsností povrchu, odrazovými vlastnostmi, tribologickými vlastnostmi a kvalitou povrchu. Konfokální techniky jsou schopny měřit materiály s různými povrchovými odrazovými vlastnostmi a získávat efektivní data měření.
Laserový konfokální mikroskop, založený na principu konfokální technologie, je inspekční přístroj pro měření v mikro a nanoměřítku na površích různých přesných zařízení a materiálů. Vysoké rozlišení měření dosahuje 0,5 nm.
Aplikace
1. MEMS
Měření rozměrů mikronových a submikronových složek, pozorování morfologie povrchu po různých procesech (vyvolávání, leptání, metalizace, CVD, PVD, CMP atd.), analýza defektů.
2. Přesné mechanické součástky, elektronická zařízení
Měření rozměrů mikronových a submikronových součástek, pozorování morfologie povrchu po různých procesech povrchové úpravy, pájení, analýza defektů, analýza částic.
3. Polovodič/LCD
Pozorování povrchové topografie po různých procesech (vyvolávání, leptání, metalizace, CVD, PVD, CMP atd.), analýza defektů Měření bezkontaktních šířek čar, hloubek kroku atd.
4. Tribologie, koroze a další povrchové inženýrství
Objemové měření otěrových stop, měření drsnosti, povrchové topografie, koroze a povrchové topografie po submikronovém povrchovém inženýrství.
Technické specifikace
Model: VT6100
Rozsah zdvihu: 100*100*100mm
Rozsah zorného pole: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Opakovatelnost měření výšky (1σ): 12nm
Přesnost měření výšky: ± (0.2+L/100) μm
Rozlišení měření výšky: 0,5 nm
Opakovatelnost měření šířky (1σ): 40nm
Přesnost měření šířky: ± 2 %
Rozlišení měření šířky: 1nm
