Elektronový mikroskop má několik částí
Elektronový mikroskop se skládá ze tří částí: tubusu čočky, vakuového zařízení a napájecí skříně.
1. Tubus objektivu zahrnuje především elektronové zdroje, elektronové čočky, držáky vzorků, fluorescenční stínítka a detektory. Tyto součásti jsou obvykle sestaveny do válce shora dolů.
Elektronová čočka se používá k zaostřování elektronů a je nejdůležitější součástí tubusu elektronového mikroskopu. Obecně se používají magnetické čočky a někdy se používají také elektrostatické čočky.
2. Vakuové zařízení slouží k zajištění vakuového stavu v mikroskopu tak, aby na jeho dráze nedocházelo k pohlcování nebo vychylování elektronů. Skládá se z mechanické vývěvy, difúzní vývěvy a vakuového ventilu a je připojen k tubusu objektivu výfukovým potrubím.
3. Napájecí skříň se skládá z vysokonapěťového generátoru, stabilizátoru budícího proudu a různých nastavovacích řídicích jednotek.
