Aplikace konfokálních mikroskopů v polovodičovém průmyslu
V procesu-výroby polovodičů ve velkém měřítku je nutné ukládat čipy integrovaných obvodů na wafer, rozdělit je do různých celků a nakonec je zabalit a připájet. Proto je přesná kontrola a měření velikosti drážky pro řezání destiček klíčovým článkem výrobního procesu.
Konfokální mikroskop je mikroskopické detekční zařízení uvedené na trh společností Zhongtu Instrument, široce používané při výrobě a balení polovodičů. Dokáže provádět bez-kontaktní skenování a rekonstruovat-trojrozměrnou morfologii povrchových prvků se složitými tvary a strmými laserovými řezacími drážkami.
Konfokální mikroskop má vynikající optické rozlišení a prostřednictvím jasného zobrazovacího systému může podrobně pozorovat vlastnosti povrchu destičky, například zda na povrchu destičky nejsou vady, jako je lom nebo škrábance. Elektrická věž může automaticky přepínat mezi různými zvětšeními objektivu a software automaticky zachycuje hrany prvků pro rychlé dvou{1}}rozměrné měření velikosti, čímž efektivněji detekuje a kontroluje kvalitu povrchu plátku.
V procesu laserového řezání plátků je vyžadováno přesné polohování, aby bylo zajištěno, že drážky mohou být řezány podél správného obrysu na plátku. Kvalita segmentace plátků se obvykle měří hloubkou a šířkou řezných drážek. Konfokální mikroskop řady VT6000, založený na konfokální technologii a vybavený vysokorychlostními skenovacími moduly-, má profesionální analytický software s více oblastmi a funkcemi automatického měření. Dokáže rychle rekonstruovat trojrozměrný-kontur laserové drážky testovaného plátku a provádět víceprofilovou analýzu, aby získal informace o hloubce a šířce kanálu v průřezu-.
